设备简介
KC3110功率半导体高精度静态特性测试系统,基于全新三代半SiC, GaN器件和模块以及车规级模块的新兴要求而进行的一次高标准产品开发。本系统可以在3KV和1000/2000A的条件下实现精确测量和参数分析,漏电流测试分辨率高达fA级,电压测试分阱率最高可这nV级,以及3000V高压下的寄生电容的精密测量。全自动程控软件,图型化上位机操作界面。内置开关切换矩阵保证测试效率。模块化结构设计预留升级扩展潜能。测试接口可外挂各类夹具和适配器,还能够通过专用接口连接各种Handler:如分选机、机械手、探针台、编带机等。
适用产品
可测Si, SiC, GaN材料的IGBTs, DIODEs, LED, MOSFETs, BJTs, HEMTs, 电容,光耦,
参考标准
IEC 60747-8/9 半导体分立器件第8/9部分/JEDEC标准
设备特点
KC-3110系 统 包 含 : 硬 件 平 台 + 实 时 软 件 , 可 测 试 静态特性、IV 曲线、容阻测试(Rg、Cxss)、CV 曲线;,主要特点如下:
适用于功率器件、功率模块直流特性分析,最高可达3000V/1000A在高达3000V直流偏置下,完全自动化的电容( Ciss、 Coss、Crss等)测量;
高效率:内置开关矩阵,自动切换测量单元,提高生产测试效率;
模块化:根据测试需求搭配不同规格测量单元。
在线高低温箱:选装-50℃~﹢150℃(最高 200℃)专用高精度实时在线高低温箱,支持 48 工位和 98 工位。圆形旋转盘,温度均匀性优秀选配温控模块也可与第三方温箱实现联动控制。
具备数据管理功能,上位机可实现数据曲线、报告及自动保存;
IV曲线:2K点以内的 IV 曲线实时扫描;
CV曲线:栅电阻 Rg、反向传输电容 Cres、输入电容 Cies、输出电容 Coes、CV 曲线
软件界面
软件功能完备并高可扩展性,基于LINUX平台开发,稳定高效、配备工控机。 保存与记录试验数据.
数据管理功能完整,具有操作界面与上位机,可实现数据自动保存与生成测试报告
技术参数